当遇到拖欠厂家货款的情况，要通过起诉来维护自身权益，具体步骤如下：首先，准备充分的证据。
这包括与厂家签订的合同，合同中应明确货款的支付条款、支付时间等；
往来的交易单据，如发货单、收货单、发票等，这些单据能清晰地证明交易的发生和货款的数额；
还有可能的话，与厂家沟通催款的记录，如邮件、短信、通话录音等，这些都可以作为起诉的依据。
其次，确定起诉的法院。
一般按照合同的约定来确定管辖法院，如果没有约定，则可以向被告所在地或者合同履行地的法院提起诉讼。
然后，起草起诉状。
起诉状应明确原被告的基本信息、诉讼请求（即要求厂家支付拖欠的货款及相应的利息等）、事实和理由（详细阐述拖欠货款的情况及依据）。
最后，将准备好的起诉状及相关证据提交给法院，并按照法院的要求缴纳诉讼费。
法院会在受理后进行审理，通过开庭、质证等程序，最终作出判决，要求厂家支付拖欠的货款。
在整个起诉过程中，要注意法律程序的合法性和规范性，确保自己的权益得到最大程度的保障。