厂房拆迁的法定流程有：
1.申领房屋拆迁许可证，发布拆迁公告；
2.书面通知拆迁范围内的被拆迁人，进行补偿登记；
3.拟定补偿安置方案发布公告，根据群众意见修改相关方案；
4.与被拆迁人签订拆迁补偿安置协议，落实拆迁补偿与安置方案。

《国有土地上房屋征收与补偿条例》第二十一条
被征收人可以选择货币补偿，也可以选择房屋产权调换。
被征收人选择房屋产权调换的，市、县级人民政府应当提供用于产权调换的房屋，并与被征收人计算、结清被征收房屋价值与用于产权调换房屋价值的差价。
因旧城区改建征收个人住宅，被征收人选择在改建地段进行房屋产权调换的，作出房屋征收决定的市、县级人民政府应当提供改建地段或者就近地段的房屋。