外商投资企业的设立程序如下：
1、咨询后领取并填写《名称(变更)预先核准申请书》，同时准备相关材料；
2、递交《名称(变更)预先核准申请书》及相关材料，等待名称核准结果；
3、领取《企业名称预先核准通知书》，同时领取《外商投资企业设立登记申请书》等有关表格；
4、递交申请材料，材料齐全，符合法定形式的，等候领取《准予设立登记通知书》；
5、领取《准予设立登记通知书》后，按照《准予设立登记通知书》确定的日期到工商局交费并领取营业执照。

《公司法》第六条
设立公司，应当依法向公司登记机关申请设立登记。符合本法规定的设立条件的，由公司登记机关分别登记为有限责任公司或者股份有限公司；不符合本法规定的设立条件的，不得登记为有限责任公司或者股份有限公司。
法律、行政法规规定设立公司必须报经批准的，应当在公司登记前依法办理批准手续。
公众可以向公司登记机关申请查询公司登记事项，公司登记机关应当提供查询服务。