外商投资企业设立程序如下：
1、申领设立外商投资企业的批准证书。
2、办理工商注册登记。
3、办理组织机构代码手续。
4、办理用地手续。
5、办理外汇登记手续。
6、银行开户。
7、进行税务登记。进出口货物征免税审批需提交进出口货物征免税申请表；货物发票；进出口许可证影印件等。

《民法典》第一百九十二条
外国公司分支机构的设立程序
外国公司在中国境内设立分支机构，必须向中国主管机关提出申请，并提交其公司章程、所属国的公司登记证书等有关文件，经批准后，向公司登记机关依法办理登记，领取营业执照。外国公司分支机构的审批办法由国务院另行规定。