外资投资企业内部股东份额变更流程如下：
首先，为了确保企业内部股东转让事宜的合规性和有效性，须在实施变更前通过适当方式召开全体股东大会，会上应形成关于建立股东转移协议的共识，并由企业盖上抬头章；
其次，新旧股东需携带本人的身份证件原件（包括有效的护照或身份证）、公司的合法营业执照副本、股东大会协议、加盖公司公章及原有法人人名章的文件以及企业新的章程整套文档，前往企业注册所在地的原工业及信息化部以及地方政府负责注册监管工作部门办理股东变更手续；
再次，在完成申请材料递交后，经办机构将对申请人所提交的文件进行深度审核，以确保其真实性与完整性；如在审核过程中发现所提供的资料存在遗漏或者不完整之处，审验机构将向申请人发送补充证明文件的通知并明确要求申请人予以修正；而若是经审核后发现申请事实与法律法规内容不符，则该事务将被拒绝接受，同时审验机构还会向申请人详细阐明不受理申请的原因。
值得特别强调的是，在本次外资投资企业内部股东份额变更完成之后，企业税务登记证、组织结构代码证书以及各项银行账户等与股东变更事项相关的重要文件和档案信息也都需要进行相应的同步调整更新。

《公司法》第三条
公司是企业法人，有独立的法人财产，享有法人财产权。公司以其全部财产对公司的债务承担责任。
有限责任公司的股东以其认缴的出资额为限对公司承担责任；股份有限公司的股东以其认购的股份为限对公司承担责任。