关于轻微儿童猥亵罪能否进行和解的问题，我国法律明确规定，此种行为严重损害了儿童的身心健康及人格尊严，属侵犯社会公众权益之范畴，故不能以和解方式规避犯罪嫌疑者承担相应的刑事责任。
由于猥亵儿童罪属于公诉案件，检察机关将代表国家依法对涉事犯罪嫌疑人提出公诉，并不因犯罪嫌疑人获取被害人和其亲属的谅解而撤销案件或不予起诉。
即使在量刑环节，若犯罪嫌疑人能够获得被害人和其家属的谅解，也仅可作为减轻刑罚的考量因素处理，但该谅解之情并不能替代司法机关所应履行的职责与义务。

《中华人民共和国刑法》第二百三十七条
【强制猥亵、侮辱罪、猥亵儿童罪】以暴力、胁迫或者其他方法强制猥亵他人或者侮辱妇女的，处五年以下有期徒刑或者拘役。
聚众或者在公共场所当众犯前款罪的，或者有其他恶劣情节的，处五年以上有期徒刑。
猥亵儿童的，处五年以下有期徒刑；有下列情形之一的，处五年以上有期徒刑：
（一）猥亵儿童多人或者多次的；
（二）聚众猥亵儿童的，或者在公共场所当众猥亵儿童，情节恶劣的；
（三）造成儿童伤害或者其他严重后果的；
（四）猥亵手段恶劣或者有其他恶劣情节的。